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隨著科學技術的發展，粉末冶金過程和金屬材料處理中廣泛使用真空爐。真空爐的種類很多：
（1）按用途可分為真空碳化爐、真空燒結爐、真空退火爐、真空淬火爐、真空回火爐以及真空滲碳爐等。
（2）按熱源可分為電阻加熱真空爐、感應加熱真空爐、電弧加熱真空爐、等離子弧加熱真空爐和電子束加熱真空爐。
（3）按真空度可分為低溫真空爐、高真空爐和超真空爐。
（4）按工作溫度可分為低溫真空爐（低于700℃）、中溫真空爐（700-1000℃）和高溫真空爐（1000℃以上）。
（5）按作業性質可分為周期式真空爐和連續式真空爐。
（6）按爐子的形式可分為豎式真空爐和臥式真空爐。
從真空爐的結構和加熱方式的角度上可以歸納為兩大類：一類是外熱式真空爐，另一類是內熱式真空爐，兩者均以真空電阻爐為主。外熱式真空爐通常稱為熱壁爐，也稱為馬弗爐。這種爐子的加熱部分與隔熱部分，即電熱元件和隔熱層設置在真空室外面，工件放在真空室的內部，工件依靠間接加熱。真空退火爐往往是外熱式真空熱處理爐。內熱式真空爐通常稱為冷壁爐。這種爐子的電熱元件和隔熱層構成的加熱室，全部放在水冷夾層結構的真空爐殼內。內熱式真空爐與外熱式真空爐相比，構造復雜，但使用溫度高、熱效率高、生產率也高，可以實現快速加熱和快速冷卻。因此，內熱式真空爐得到了迅速發展，已成為真空燒結和真空退火、真空淬火、真空回火的主要用爐。
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