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真空爐與其他熱處理爐相比，具有以下優點:
1)設備自動化程度高，完全實現機械化操作，設備本身有自鎖功能，保護真空爐的安全使用。
2)爐膛潔凈，工件熱處理變形小，僅為鹽浴變形量的1/10一1/4，減少了零件的磨削加工余量。
3)具有除氣和脫脂作用，顯著提高了工件的力學性能，延長了零件的使用
壽命。
4)節省電力和能源，蓄熱損失小，污染氣氛低于其他任何的保護氣氛爐，無公害，操作安全可靠，工作環境好。
5)工件無權化、脫碳，表面光亮，確保零件表面的化學成分和表面狀態保持不變，減少了熱處理表面缺陷，生產成本低。
6)零件無氫脆的危險。
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