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表現：爐內溫度波動大，無法穩定在設定值附近。
原因：加熱元件老化、熱電偶失準或控制系統失靈。
解決方法：更換老化加熱元件，定期校準熱電偶，維護控制系統。
二、真空度不足
表現：爐內真空度無法達到工藝要求。
原因：真空泵故障、密封件損壞、管道泄漏或硅油污染。
解決方法：維護真空泵，更換密封件，檢查管道連接，清潔泵內部并更換硅油。
三、氣氛控制不準確
表現：爐內氣氛濃度與設定值偏差較大。
原因：氣體供應系統故障、流量計失準或控制系統失靈。
解決方法：維護氣體供應系統，校準流量計，優化控制系統。
四、設備過熱
表現：設備在運行過程中出現過熱現象。
原因：加熱元件故障、散熱不良或控制系統失靈。
解決方法：檢查加熱元件，改善散熱系統，維護控制系統。
五、氣路堵塞
表現：氣體流通不暢，影響爐內氣氛均勻性。
原因：氣體雜質、管道老化、閥門故障或安裝不當。
解決方法：拆卸清理管道，使用壓縮空氣吹掃，更換老化部件，確保正確安裝。
六、設備無法啟動
表現：設備無響應，電源指示燈不亮。
原因：電源故障、控制系統故障或機械故障。
解決方法：檢查電源線路，重啟或更換控制系統部件，排除機械部件問題。
通過定期維護、及時維修和優化操作，可以有效避免這些問題，確保真空氣氛爐的穩定運行和產品質量。
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